技術概要

超精密平面研削盤、ラップ盤、ポリッシング盤を組み合わせ、平坦度0.1μmの精密平坦加工に対応します。レーザ干渉計、恒温恒湿測定室などを完備し、検査にも力をいれています。

この技術を利用した装置はありません。