• 液晶注入装置
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実現したこと

真空環境下で液だれなく正確に微量を注入できるディスペンサが市販されていなかったので、この方式を装置化することが難しい状況にありました。そのため、当社でディスペンサ自体の開発に取り組み、数Paの真空環境下で液だれなく塗布することができるディスペンサを開発しました。このディスペンサを用いて、無事この方式を装置することができました。

使われている技術